高真空及超高真空泵

高真空及超高真空应用领域非常广泛，包括磁控溅射、激光脉冲沉积、分子束外延、表面分析和粒子加速器等等。

现代工艺的机械泵由于工作原理的限制，极限通常在1 x 10^-2mbar以上，有更高一些的需求时可以选择组合多级罗茨泵，最高甚至可能达到1 x 10^-5mbar，而再高的需求时，机械泵将无法胜任。

当压力超过 10 ^-5Pa之后就进入到了超高真空应用领域。此时，系统中的气体分子由粘滞流转变为了分子流，此时气体分子的运动方向与压力无关，多数真空泵的抽气作用已经完全停止。

在这个阶段最普遍使用的为分子泵，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。

注意，高真空及超高真空真空泵通常不可在大气下工作！

分子泵

从原理上来看，分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘，其叶片按相反方向放置，其原理是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

其通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子，气体分子最初的非定向热运动变成定向运动，即从泵的进口延轴方向移动到排气口。

涡轮分子泵

涡轮分子泵可用于需要高洁净度的高真空或超高真空的应用，其分为机械式、混合式和磁悬浮式高真空泵。

涡轮分子泵涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

磁悬浮涡轮分子泵

TURBOVAC MAG 系列是全集成紧凑型磁悬浮分子泵，性能出色，即插即用，IP54防护等级,非常适合具有挑战性的应用，例如镀膜、分析仪器和科学研究。

其特点耐粉尘、耐冲击、振动小，适合对振动敏感的应用，且免维护，具有自我保护功能。

油扩散泵

除了分子泵外，还有许多其他不同原理的高真空及超高真空泵。

其中油扩散泵属于蒸汽喷射泵。

油扩散泵通过加热器加热扩散泵油，使泵油以蒸气通过喷嘴后喷射，被抽气体分子扩散到蒸气流内，并从泵内中排出，实现高真空抽气。

油蒸汽通过碰撞将动量传输给被抽气体分子，该技术不会产生磨损，不需要任何移动部件。油扩散泵性能取决于泵油类型（硅油或矿物油）、温度以及喷嘴的设计等。

蒸气射流在水冷的泵内壁冷却后冷凝，流回油池加热再次蒸发。这种简单的物理机制使扩散泵成为一种可靠耐用的技术。

泵中的前级压力必须足够低，保证被抽气体排出，所以扩散泵需要和前级泵配合使用。 Leybold 莱宝的机械前级真空泵很适合与扩散泵组合使用。

油扩散泵为真空工艺提供经济高效的解决方案。及时而少量的维护投资可以让您的生产持续保持高性能，并由此带来高回报。

莱宝油扩散泵的优点

节约能源，降低碳足迹

由性能驱动

延长正常运行时间

投资成本相对较低

面向物联网

易于保养

Leybold 莱宝扩散泵采用创新加热系统降低功耗，与传统的扩散泵和增压油泵相比，加热时间显著缩短。如果您的应用需要高抽速、高真空、高抽气量或者对节能有特殊要求以减少您的碳足迹时， Leybold 莱宝可以为您提供定制的解决方案。 Leybold 莱宝创新的直接加热概念和智能加热控制，实现了高能效！

低温泵

低温泵是气体捕集泵，气态物质通过低温冷凝、低温吸附或冷冻捕集方式与泵内的冷表面结合,其真空侧没有任何机械移动部件、油润滑或脂润滑部件。

为了产生高真空或超高真空，必须将冷表面/低温面板冷却至足够低的温度。Leybold 莱宝的 COOLPOWER e 系列（Gifford/McMahon 原理）久经考验、高可靠的单级或双级冷冻机为低温泵提供冷却。

产品优势

压力范围从 10^-3 到 10^-11 mbar (覆盖高真空和超高真空范围)

真空腔里没有移动部件，没有碳氢化合物。

8 个型号抽速从 1500 到 60.000 l/s

所有的低温泵都可选择手动操作和自动控制

2个型号的压缩机可供选择

所有部件 (冷头/压缩机/泵)都由 Leybold 生产

可以为超高真空应用（例如MBE和加速器）提供非标准泵

控制器操作简单(手动控制或远程控制)

维护间隔长 (≥ 9,000 h)，维护简单且不需要破空,可以提供现场服务

同等条件下抽水蒸汽的能力最强(是标称抽速的3-4倍，由于高真空的负载80%~95%是水汽所以低温泵可以提供同等条件下最短的抽空时间）

超高真空泵

超高真空泵包括了钛离子泵、NEG 泵和 TSP 泵等。

全系列无振动、免维护的钛离子泵、钛升华泵 (TSP) 和非蒸发型吸气剂(NEG) 泵，可在超高真空中实现出众的极限压力。

在超高真空下具有高抽速、长时间运行、极限真空小于 1 x 10^-11mbar等特点

NEG 泵

将 NEG 和离子泵这两种技术组合到配备可更换模块的紧凑型超高真空泵中，非常适合在空间有限且需要多功能性的应用中使用。

可选择 6 个 NEG 和 6 个离子泵模块，氢气泵送速度为 100 – 500 l/s。

这种超高真空泵可更换优质传统二极管元件，提供 2 种离子泵馈通方式和可更换模块，能够支持多种应用。

低功耗和可更换零件有助于减少超高真空泵占地面积和总拥有成本。

钛离子泵

钛离子泵是一种常用的超高真空获得设备，具有如下独特优势：

运行时无振动

维护要求低

耐辐射

使用寿命长

耐高温烘烤

永久性气体捕获

清洁无污染