TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAG系列是带磁性转子悬浮功能的涡轮分子泵。其可靠耐用,适用于分析、研究和严苛的工业镀膜行业。
该系列有5 轴主动磁浮系统,将高可靠性与安全性相结合,有高抽吸速度和高抽气量可加快抽气速度,从而缩短设备的循环时间。
配置集成的变频器和电源:不再需要传统的机架安装式控制器和电缆。
为了安全起见,在断电的情况下,驱动系统切换至发电机模式,以通过缓慢减速来保持转子悬浮。当电源恢复时,泵开始自动加速至正常速度。
TURBOVAC MAG 具有 IP 54 防护等级,是在恶劣工业应用环境中使用的理想之选。

TURBOVAC MAG 优势
灵活
这些高真空泵安装在任何方向都能实现高性能运行,并且可以轻松集成到您的真空系统中。
TURBOVAC MAG 体积小,安装简单,能够产生清洁的高真空和超高真空。
它设计灵活,控制器安装在侧面或底部,采用创新的模块化工业通信解决方案,系统集成更容易。
适用于工业应用,比如 PVD、显示、光学和建筑玻璃镀膜。
可靠
TURBOVAC MAG 对于气体具有高抽速和高压缩比。
对工艺颗粒、灰尘和气体冲击不敏感。
完全无油,可确保清洁的高真空和超高真空条件。
集成了复合型和经典型涡轮转子级以及板载变频器和电源。
振动非常小,具有高度的操作可靠性。
免维护
免维护运行时间长达 10000 小时,具有监测和自我保护功能。
技术参数
磁悬浮分子泵可以在10-1mbar至 10-10mbar压力范围内使用。抽速度范围从 300 l/s 到 2200 l/s 。

带变频器的 MAG integra 截面示意图,其他型号的类似
涡轮分子泵基本包括泵壳、多级转子以及成套定子、驱动器以及磁悬浮轴承。
转子采用合金铝制造,包括涡轮级和 Holweck 级。
MAG 有内置精密 5 轴定位磁悬浮轴承,转子悬挂在免维护的磁悬浮轴承上。
这种轴承原理使分子泵可以任意角度安装并保证了运行的振动非常低。磁悬浮轴承运行不需要任何油脂润滑从而保证了超级清洁的真空。
保护轴承用于在运行期间发生冲击时使转子保持机械稳定。只有在有强振动或者电子元件有故障时,才使用保护轴承。
电源电压中断后,涡轮分子泵用作发电机向变频器供电。转子减速达到大约 100 赫兹,然后降落到保护轴承。

MAG 2807 iS
体积小、抽速大、性能佳、重量轻、极强的抗粉尘污染能力,是工业镀膜应用提供优化的优秀真空解决方案。
MAG 2807 iS --- 工业镀膜应用利器

Introduce
With TURBOVAC MAG iS pumps the stator and rotor blades are levitated and held in place by electromagnets rather than oil-lubricating bearing systems. This has a number of benefits inlcuding:
Minimal wear-and-tear reducing maintenance intervals and eleminating the need to replace oil or lubricated bearing cartridges
Significantly reduced levels of noise and vibration. This makes them ideal for sensitive applications that require a clean, dry, hydrocarbon-free vacuum
Impressive performance with pumping speeds up to 3,200 l/s
But what makes the TURBOVAC MAG iS range stand out from the crowd is their versatility. Weighing in at under 60 kg they are the lightest and most compact pumps in the 3,000 l/s class, and can be mounted in any orientation. This makes them a perfect choice in environments where space is limited, or flexible deployment is required.