在众多真空系统和过程中,需要测量真空性能使用真空计测量的压力范围较宽 其测量范围可从高于大气压 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 的压力到低至 10-12 mbar/torr 的压力,没有哪一种传感器技术能够覆盖如此宽泛的测量范围。 因此,真空计有多种类型,每种真空计都有自己的特点,能够在各自的量程内测量真空。 为了扩大测量范围,可以将多种技术组合到一个真空计中,以减少系统中所需的连接。
真空测量原理分类:直接测量和间接测量如果是直接测量(测量结果气体种类无关),通过真空计获得的读数与气体类型无关,测得的压力是系统的真实压力。 这些真空计通常依靠膜片的机械偏转来运行,其测量范围是从高于大气压力至 10-4 mbar/torr 压力。此类真空计可以在较小量程内提供高精度,并且通常非常坚固。
如果是间接测量,测量通过气体相关特性(例如热导率、电离概率)进行测定。这些特性不仅取决于压力,还取决于气体的摩尔质量,所以测量结果与气体种类相关。真空计读数以的空气或氮气标定,对于其他蒸汽或气体,必须增加相应的修正系数。此类真空计能够在更广的范围(大气压至 10 x 10-12mbar 压力,具体取决于真空计类型/组合)测量,但精度略低。
区分真空计的另一个判断依据是传感器还是变送器。 Leybold 莱宝既提供真空变送器,也提供真空传感器。 真空变送器是指将传感器与信号控制和输出电子器件结合在一起,以便轻松集成到系统中。 无源测量是指将传感器与电子器件分离,然后将电子器件单独保留在专用控制器中。其优点是,它们可在电子器件无法正常工作的环境(例如高辐射环境)中使用,并且可以从上述环境中移除单独的控制器。
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